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本发明提供一种半导体硅片抛光用的纳米硅铈复合抛光液的制备方法，包括如下步骤：搅拌条件下，依次向纳米硅铈复合颗粒水溶液中加入氧化剂、有机络合剂、表面活性剂、有机碱pH调节剂，并补足去离子水调节含量，使得抛光液pH值在8
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该专利属于国科大杭州高等研究院所有，仅供学习研究参考，未经过国科大杭州高等研究院授权不得商用。

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