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本申请实施例提供一种光学麦克风及其制作方法。光学麦克风包括麦克风振膜和光电转换组件，麦克风振膜包括间隔设置的振动薄膜和光栅，振动薄膜上设有进声孔；光电转换组件设置于光栅远离振动薄膜的一侧，光电转换组件包括光源和探测器，光源用于朝向麦克风振膜...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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