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本发明属于半导体设备技术领域，公开了一种键合对准机构、键合装置和键合对准方法；所述键合对准机构包括：对准套筒、限位挡杆以及驱动件；所述对准套筒开设有支撑孔槽，所述限位挡杆可滑动地嵌于所述支撑孔槽内，所述驱动件与所述限位挡杆相连；其中，所述对...
该专利属于武汉锐晶激光芯片技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉锐晶激光芯片技术有限公司授权不得商用。

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