温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请涉及一种直线电机及半导体制备系统，在直线电机中，利用定子与动子之间的配合，驱使动子沿第二方向运动，以带动传动轴在第二方向上运动；同时，利用滑块与导轨的配合，确保传动轴的运动稳定。由于滑块与传动轴或动子之间连接有缓冲件，因此，当传动轴进...
该专利属于东莞联鹏智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞联鹏智能装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。