直线电机及半导体制备系统技术方案

本申请涉及一种直线电机及半导体制备系统，在直线电机中，利用定子与动子之间的配合，驱使动子沿第二方向运动，以带动传动轴在第二方向上运动；同时，利用滑块与导轨的配合，确保传动轴的运动稳定。由于滑块与传动轴或动子之间连接有缓冲件，因此，当传动轴进行高频运动时，传动轴所产生的高频振动会传递至缓冲件上，此时缓冲件受振动而发生形变，以吸收至少部分传动轴的振动能量，降低高频振动给导轨带来的负荷，极大程度削减因瞬时变化的工况对直线电机的影响，使得直线电机处于稳定工况，从而有利于减少对驱动定位精度的影响。而有利于减少对驱动定位精度的影响。而有利于减少对驱动定位精度的影响。

【技术实现步骤摘要】
直线电机及半导体制备系统


[0001]本申请涉及驱动设备
，特别是涉及直线电机及半导体制备系统。

技术介绍

[0002]直线电机是一种将电能直接转换成线性运动机械能的机构，因反应速度快、灵敏度高等特点，被广泛应用在各种作业平台中，而对于一些大跨距作业平台中，通常会选择双驱直线电机作为驱动源。
[0003]双驱直线电机主要包括横梁轴以及连接在横梁轴两侧的两个电机组件，利用两侧的电机组件驱使横梁轴作线性运动。然而，当作业平台的运动工况为高频运动时，比如：半导体作业平台等，横梁轴的高频运动会给两侧电机组件带来高频冲击，导致直线电机处于不稳定工况，影响驱动定位精度。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要提供一种直线电机及半导体制备系统，降低高频运动造成的高频冲击，使得直线电机处于稳定工况，减少对驱动定位精度的影响。
[0005]一种直线电机，所述直线电机包括：传动轴；至少两个驱动机构，沿第一方向并列且间隔设置，各所述驱动机构均包括基座、设于基座上的定子与导向组件、以及与所述定子配合的动子，所述定子用于驱使所述动子沿第二方向线性运动，各所述动子均与所述传动轴连接，所述导向组件包括设于所述基座上的导轨、及沿所述第二方向滑动设于所述导轨上的滑块，用于对所述传动轴沿所述第二方向的运动进行导向，所述第一方向与所述第二方向相交；其中，各所述驱动机构还包括具有形变功能的缓冲件，所述滑块通过所述缓冲件与所述动子或所述传动轴连接。
[0006]上述的直线电机，利用定子与动子之间的配合，驱使动子沿第二方向运动，以带动传动轴在第二方向上运动；同时，利用滑块与导轨的配合，确保传动轴的运动稳定。由于滑块与传动轴或动子之间连接有缓冲件，因此，当传动轴进行高频运动时，传动轴所产生的高频振动会传递至缓冲件上，此时缓冲件受振动而发生形变，以吸收至少部分传动轴的振动能量，降低高频振动给导轨带来的负荷，极大程度削减因瞬时变化的工况对直线电机的影响，使得直线电机处于稳定工况，从而有利于减少对驱动定位精度的影响。
[0007]在其中一个实施例中，所述滑块位于所述动子沿与所述第二方向相交的方向的一侧，所述滑块通过所述缓冲件与所述动子连接。
[0008]在其中一个实施例中，各所述动子与所述传动轴之间均连接有第一安装件，所述滑块上设有与所述第一安装件间隔的第二安装件，所述缓冲件连接于所述第一安装件与所述第二安装件之间。
[0009]在其中一个实施例中，所述缓冲件具有形变面，所述形变面覆盖并连接于所述第一安装件与所述第二安装件的同一侧。
[0010]在其中一个实施例中，各所述驱动机构还包括第一固定件与第二固定件，所述第
一固定件与所述第二固定件分别用于将所述形变面对应压接在所述第一安装件与所述第二安装件上。
[0011]在其中一个实施例中，在所述第一安装件与所述第二安装件之间的间隔方向上，所述缓冲件的整体长度记为L1,所述缓冲件在所述第一安装件和所述第二安装件之间悬空的部分长度记为L2，其中，3:5≤L2：L1≤5:7。
[0012]在其中一个实施例中，所述缓冲件包括主体及连接于所述主体相对两侧的两个固定部件，两个所述固定部件分别对应连接于所述第一安装件和所述第二安装件上，且两个所述固定部件分别与所述主体之间均形成有可弯折的形变部。
[0013]在其中一个实施例中，各所述驱动机构均包括沿与所述第二方向相交的方向间隔设置的两个所述定子，所述动子至少部分位于两个所述定子之间。
[0014]在其中一个实施例中，所述定子与所述导向组件均设于所述基座沿所述第一方向的一侧面上，且所述导向组件位于所述定子沿第三方向的一侧，其中，所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向之间构成的平面。
[0015]一种半导体制备系统，包括以上任一项所述的直线电机。
[0016]上述的半导体制备系统，采用以上的直线电机，利用定子与动子之间的配合，驱使动子沿第二方向运动，以带动传动轴在第二方向上运动；同时，利用滑块与导轨的配合，确保传动轴的运动稳定。由于滑块与传动轴或动子之间连接有缓冲件，因此，当传动轴进行高频运动时，传动轴所产生的高频振动会传递至缓冲件上，此时缓冲件受振动而发生形变，以吸收至少部分传动轴的振动能量，降低高频振动给导轨带来的负荷，极大程度削减因瞬时变化的工况对直线电机的影响，使得直线电机处于稳定工况，从而有利于减少对驱动定位精度的影响。
附图说明
[0017]图1为本申请的一些实施例中所述的直线电机结构示意图。
[0018]图2为图1中圈A处结构放大示意图。
[0019]图3为本申请的一些实施例中所述的缓冲件受高频振动时的形变分析图。
[0020]图4为本申请的另一些实施例中所述的缓冲件结构示意图。
[0021]100、直线电机；10、传动轴；20、驱动机构；21、基座；211、安装槽；22、定子；23、动子；231、第一安装件；24、导向组件；241、导轨；242、滑块；243、第二安装件；25、缓冲件；251、第一固定件；252、第二固定件；253、主体；25a、台阶部；254、固定部件；255、形变部；256、形变面；X、第一方向；Y、第二方向；Z、第三方向。
具体实施方式
[0022]为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。
[0023]在本申请的描述中，需要理解的是，若有出现这些术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、
“
内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等，这些术语指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0024]此外，若有出现这些术语“第一”、“第二”，这些术语仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，若有出现术语“多个”，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0025]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，若有出现术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等，这些术语应做广义理解。例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种直线电机，其特征在于，所述直线电机包括：传动轴(10)；至少两个驱动机构(20)，沿第一方向(X)并列且间隔设置，各所述驱动机构(20)均包括基座(21)、设于基座(21)上的定子(22)与导向组件(24)、以及与所述定子(22)配合的动子(23)，所述定子(22)用于驱使所述动子(23)沿第二方向(Y)线性运动，各所述动子(23)均与所述传动轴(10)连接，所述导向组件(24)包括设于所述基座(21)上的导轨(241)、及沿所述第二方向(Y)滑动设于所述导轨(241)上的滑块(242)，用于对所述传动轴(10)沿所述第二方向(Y)的运动进行导向，所述第一方向(X)与所述第二方向(Y)相交；其中，各所述驱动机构(20)还包括具有形变功能的缓冲件(25)，所述滑块(242)通过所述缓冲件(25)与所述动子(23)或所述传动轴(10)连接。2.根据权利要求1所述的直线电机，其特征在于，所述滑块(242)位于所述动子(23)沿与所述第二方向(Y)相交的方向的一侧，所述滑块(242)通过所述缓冲件(25)与所述动子(23)连接。3.根据权利要求2所述的直线电机，其特征在于，各所述动子(23)与所述传动轴(10)之间均连接有第一安装件(231)，所述滑块(242)上设有与所述第一安装件(231)间隔的第二安装件(243)，所述缓冲件(25)连接于所述第一安装件(231)与所述第二安装件(243)之间。4.根据权利要求3所述的直线电机，其特征在于，所述缓冲件(25)具有形变面(256)，所述形变面(256)覆盖并连接于所述第一安装件(231)与所述第二安装件(243)的同一侧。5.根据权利要求4所述的直线电机，其特征在于，各所述驱动机构(20)还包括第...

【专利技术属性】
技术研发人员：赖太辛，李立辉，叶伟乐，
申请(专利权)人：东莞联鹏智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：