直线电机及半导体制备系统技术方案

本申请涉及一种直线电机及半导体制备系统，在直线电机中，利用定子与动子之间的配合，驱使动子沿第二方向运动，以带动传动轴在第二方向上运动；同时，利用滑块与导轨的配合，确保传动轴的运动稳定。由于滑块与传动轴或动子之间连接有缓冲件，因此，当传动轴进行高频运动时，传动轴所产生的高频振动会传递至缓冲件上，此时缓冲件受振动而发生形变，以吸收至少部分传动轴的振动能量，降低高频振动给导轨带来的负荷，极大程度削减因瞬时变化的工况对直线电机的影响，使得直线电机处于稳定工况，从而有利于减少对驱动定位精度的影响。而有利于减少对驱动定位精度的影响。而有利于减少对驱动定位精度的影响。

【技术实现步骤摘要】
直线电机及半导体制备系统


[0001]本申请涉及驱动设备
，特别是涉及直线电机及半导体制备系统。

技术介绍

[0002]直线电机是一种将电能直接转换成线性运动机械能的机构，因反应速度快、灵敏度高等特点，被广泛应用在各种作业平台中，而对于一些大跨距作业平台中，通常会选择双驱直线电机作为驱动源。
[0003]双驱直线电机主要包括横梁轴以及连接在横梁轴两侧的两个电机组件，利用两侧的电机组件驱使横梁轴作线性运动。然而，当作业平台的运动工况为高频运动时，比如：半导体作业平台等，横梁轴的高频运动会给两侧电机组件带来高频冲击，导致直线电机处于不稳定工况，影响驱动定位精度。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要提供一种直线电机及半导体制备系统，降低高频运动造成的高频冲击，使得直线电机处于稳定工况，减少对驱动定位精度的影响。
[0005]一种直线电机，所述直线电机包括：传动轴；至少两个驱动机构，沿第一方向并列且间隔设置，各所述驱动机构均包括基座、设于基座上的定子与导向组件、以及与所述定子配合的动子，所述定子用于驱使所述动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种直线电机，其特征在于，所述直线电机包括：传动轴(10)；至少两个驱动机构(20)，沿第一方向(X)并列且间隔设置，各所述驱动机构(20)均包括基座(21)、设于基座(21)上的定子(22)与导向组件(24)、以及与所述定子(22)配合的动子(23)，所述定子(22)用于驱使所述动子(23)沿第二方向(Y)线性运动，各所述动子(23)均与所述传动轴(10)连接，所述导向组件(24)包括设于所述基座(21)上的导轨(241)、及沿所述第二方向(Y)滑动设于所述导轨(241)上的滑块(242)，用于对所述传动轴(10)沿所述第二方向(Y)的运动进行导向，所述第一方向(X)与所述第二方向(Y)相交；其中，各所述驱动机构(20)还包括具有形变功能的缓冲件(25)，所述滑块(242)通过所述缓冲件(25)与所述动子(23)或所述传动轴(10)连接。2.根据权利要求1所述的直线电机，其特征在于，所述滑块(242)位于所述动子(23)沿与所述第二方向(Y)相交的方向的一侧，所述滑块(242)通过所述缓冲件(25)与所述动子(23)连接。3.根据权利要求2所述的直线电机，其特征在于，各所述动子(23)与所述传动轴(10)之间均连接有第一安装件(231)，所述滑块(242)上设有与所述第一安装件(231)间隔的第二安装件(243)，所述缓冲件(25)连接于所述第一安装件(231)与所述第二安装件(243)之间。4.根据权利要求3所述的直线电机，其特征在于，所述缓冲件(25)具有形变面(256)，所述形变面(256)覆盖并连接于所述第一安装件(231)与所述第二安装件(243)的同一侧。5.根据权利要求4所述的直线电机，其特征在于，各所述驱动机构(20)还包括第...

【专利技术属性】
技术研发人员：赖太辛，李立辉，叶伟乐，
申请(专利权)人：东莞联鹏智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：