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一种探针卡及其制备方法，属于半导体测试技术领域，探针卡包括：基板，基板上分布有接触点；堆叠于基板的至少一层空间变换层，空间变换层包括介质层，介质层包括第一介质层和第二介质层，第一介质层内嵌设有连接点，第二介质层内嵌设有空间变换线路，连接点和...
该专利属于深圳市华芯微测技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华芯微测技术有限公司授权不得商用。

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