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本实用新型提供了一种MEMS传感器以及应用所述MEMS传感器的MEMS麦克风和电子烟，所述MEMS传感器包括具有背腔的基底和设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括第一背板组件以及与所述第一背板组件相对设置的振膜，所述第一背板组件包括间...
该专利属于瑞声声学科技（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞声声学科技（深圳）有限公司授权不得商用。

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