MEMS传感器、MEMS麦克风及电子烟制造技术

本实用新型专利技术提供了一种MEMS传感器以及应用所述MEMS传感器的MEMS麦克风和电子烟，所述MEMS传感器包括具有背腔的基底和设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括第一背板组件以及与所述第一背板组件相对设置的振膜，所述第一背板组件包括间隔设置的第一背板和第二背板，所述第一背板设有若干第一背板孔，所述第二背板设有若干第二背板孔，所述第一背板孔和第二背板孔在所述振膜的振动方向上相互错开。所述MEMS传感器可以起到很好的防尘效果。果。果。

【技术实现步骤摘要】
MEMS传感器、MEMS麦克风及电子烟


[0001]本技术涉及传感器领域，尤其涉及MEMS传感器及包括所述MEMS传感器和电子烟。

技术介绍

[0002]相关技术中的MEMS传感器包括具有背腔的基底以及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板及与所述背板间隔设置的振膜，背板设有若干背板孔，灰尘容易通过背腔或者背板孔进入MEMS传感器内部，会影响MEMS传感器的性能，易造成MEMS传感器失效。
[0003]因此，实有必要提供一种新的MEMS传感器解决上述技术问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种可防尘的MEMS传感器。
[0005]为了达到上述目的，本技术提供了一种MEMS传感器，其包括具有背腔的基底和设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括第一背板组件以及与所述第一背板组件相对设置的振膜，所述第一背板组件包括间隔设置的第一背板和第二背板，所述第一背板设有若干第一背板孔，所述第二背板设有若干第二背板孔，所述第一背板孔和第二背板孔在所述振膜的振动方向上相互错开。
[00本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MEMS传感器，其包括具有背腔的基底和设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括第一背板组件以及与所述第一背板组件相对设置的振膜，其特征在于，所述第一背板组件包括间隔设置的第一背板和第二背板，所述第一背板设有若干第一背板孔，所述第二背板设有若干第二背板孔，所述第一背板孔和第二背板孔在所述振膜的振动方向上相互错开。2.一种MEMS麦克风，其特征在于，其包括壳体、与所述壳体围合形成收容空间的基板以及收容于所述收容空间中的如权利要求1所述MEMS传感器，所述MEMS传感器固定于所述基板，所述壳体或基板设有进声孔。3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述进声孔设于所述壳体，所述第一背板组件位于所述振膜远离所述基底的一侧。4.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述进声孔设于所述基板，所述进声孔与所述背腔连通，所述第一背板组件位于所述振膜靠近所述基底的一侧。5.一种电子烟，其包括一顶端具有吸烟口的外壳、收容于所述外壳内且与所述吸烟口间隔设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：李晋阳，张睿，
申请(专利权)人：瑞声声学科技深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：