MEMS传感器、MEMS麦克风及电子烟制造技术

本实用新型专利技术提供了一种MEMS传感器以及应用所述MEMS传感器的MEMS麦克风和电子烟，所述MEMS传感器包括具有背腔的基底和设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括第一背板组件以及与所述第一背板组件相对设置的振膜，所述第一背板组件包括间隔设置的第一背板和第二背板，所述第一背板设有若干第一背板孔，所述第二背板设有若干第二背板孔，所述第一背板孔和第二背板孔在所述振膜的振动方向上相互错开。所述MEMS传感器可以起到很好的防尘效果。果。果。

【技术实现步骤摘要】
MEMS传感器、MEMS麦克风及电子烟


[0001]本技术涉及传感器领域，尤其涉及MEMS传感器及包括所述MEMS传感器和电子烟。

技术介绍

[0002]相关技术中的MEMS传感器包括具有背腔的基底以及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板及与所述背板间隔设置的振膜，背板设有若干背板孔，灰尘容易通过背腔或者背板孔进入MEMS传感器内部，会影响MEMS传感器的性能，易造成MEMS传感器失效。
[0003]因此，实有必要提供一种新的MEMS传感器解决上述技术问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种可防尘的MEMS传感器。
[0005]为了达到上述目的，本技术提供了一种MEMS传感器，其包括具有背腔的基底和设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括第一背板组件以及与所述第一背板组件相对设置的振膜，所述第一背板组件包括间隔设置的第一背板和第二背板，所述第一背板设有若干第一背板孔，所述第二背板设有若干第二背板孔，所述第一背板孔和第二背板孔在所述振膜的振动方向上相互错开。
[0006]一种MEMS麦克风，其包括壳体、与所述壳体围合形成收容空间的基板以及收容于所述收容空间中的如上所述MEMS传感器，所述MEMS传感器固定于所述基板，所述壳体或基板设有进声孔。
[0007]优选的，所述进声孔设于所述壳体，所述第一背板组件位于所述振膜远离所述基底的一侧。
[0008]优选的，所述进声孔设于所述基板，所述进声孔与所述背腔连通，所述第一背板组件位于所述振膜靠近所述基底的一侧。
[0009]一种电子烟，其包括一顶端具有吸烟口的外壳、收容于所述外壳内且与所述吸烟口间隔设置的雾化器、设置于雾化器与吸烟口之间的烟油腔、与所述吸烟口连通的第一收容腔以及置于所述第一收容腔中的MEMS气流传感器，所述MEMS气流传感器包括线路板、与所述线路板连接形成第二收容腔的框体以及置于所述第二收容腔中如上所述的MEMS传感器，MEMS传感器固定于所述线路板，所述框体设有连通所述第一收容腔和第二收容腔的第一通孔，所述线路板设有连通所述背腔和外部的第二通孔。
[0010]优选的，所述第一背板和第二背板之间的距离小于1μm。
[0011]优选的，所述电容系统还包括第二背板组件，所述第一背板组件和第二背板组件分别位于所述振膜的两侧，所述第二背板组件包括间隔设置的第三背板和第四背板，所述第三背板设有若干第三背板孔，所述第四背板设有若干第四背板孔，所述第三背板孔和第四背板孔在所述振膜的振动方向上相互错开。
[0012]优选的，所述第三背板和第四背板之间的距离小于1μm。
[0013]与相关技术相比，本技术的MEMS传感器采用双背板结构，第一背板孔和第二背板孔错开设置，很好的起到了防尘的效果。另外，本技术还提供了一种应用上述MEMS传感器的MEMS麦克风和电子烟。
【附图说明】
[0014]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：
[0015]图1为本技术中MEMS传感器的剖视图；
[0016]图2为本技术一实施例的MEMS麦克风的剖视图；
[0017]图3为本技术另一实施例的MEMS麦克风的剖视图；
[0018]图4为本技术中电子烟的剖视图；
[0019]图5为图4中MEMS气流传感器的剖视图；
[0020]图6为图5中MEMS传感器的另一实施例的剖视图。
【具体实施方式】
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1，为本技术提供了一种MEMS传感器1，其包括具有背腔20的基底21和设置在所述基底21上的电容系统30，所述电容系统30包括第一背板组件31以及与所述第一背板组件31相对设置的振膜32，所述第一背板组件31包括间隔设置的第一背板311和第二背板312，所述第一背板311设有若干第一背板孔3110，所述第二背板312设有若干第二背板孔3120，所述第一背板孔3110和第二背板孔3120在所述振膜32的振动方向上相互错开，相互错开的背板孔可以起到防尘的效果。第一背板组件31位于振膜32远离背腔20的一侧，在其它实施方式中，第一背板组件也可以位于所述振膜靠近背腔的一侧。
[0023]如图2所示，上述结构的MEMS传感器1还可以应用于MEMS麦克风10中，MEMS麦克风10包括壳体41和与壳体41围合形成收容空间401的基板42，MEMS传感器1置于收容空间401中并固定于基板42。如与收容空间401连通的进声孔410位于壳体41，则所述第一背板组件31位于所述振膜32远离所述基底21的一侧，即第一背板孔3110和第二背板孔3120比振膜32更靠近进声孔410，第一背孔板3110和第二背板孔3120相互错开起到防尘作用，避免了灰尘进入到MEMS传感器1内部。在其它实施方式中，如图3所示，MEMS麦克风10
’
进声孔420
’
与背腔20
’
连通并位于基板42
’
，则第一背板组件31
’
位于振膜32
’
靠近基底42
’
的一侧，即第一背板孔3110
’
和第二背板孔3120
’
比振膜更靠近进声孔420
’
，第一背孔板3110
’
和第二背板孔3120
’
相互错开起到防尘作用，避免了灰尘进入到MEMS传感器内部。
[0024]另外，如图4所示，上述结构的MEMS传感器1还可以应用于电子烟100中，所述电子
烟100包括一顶端具有吸烟口71的外壳7、收容于所述外壳7内且与所述吸烟口71间隔设置的雾化器8、设置于雾化器8与吸烟口71之间的烟油腔9、与所述吸烟口71连通的第一收容腔70以及置于所述第一收容腔70中的MEMS气流传感器101，MEMS气流传感器101焊接固定于所述壳体7的第一收容腔70内。所述烟油腔9内注入烟油，第一收容腔70位于壳体7的底端并通过烟道73与吸烟口71连通，壳体7的底端还设有连通外界和MEMS传感器1的第一通孔72。
[0025]一并参照图5所示，所述MEMS气流传感器101包括线路板62、与所述线路板62连接形成第二收容腔601的框体61以及置于所述第二收容腔601中如上所述的MEMS传感器1，MEMS传感本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MEMS传感器，其包括具有背腔的基底和设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括第一背板组件以及与所述第一背板组件相对设置的振膜，其特征在于，所述第一背板组件包括间隔设置的第一背板和第二背板，所述第一背板设有若干第一背板孔，所述第二背板设有若干第二背板孔，所述第一背板孔和第二背板孔在所述振膜的振动方向上相互错开。2.一种MEMS麦克风，其特征在于，其包括壳体、与所述壳体围合形成收容空间的基板以及收容于所述收容空间中的如权利要求1所述MEMS传感器，所述MEMS传感器固定于所述基板，所述壳体或基板设有进声孔。3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述进声孔设于所述壳体，所述第一背板组件位于所述振膜远离所述基底的一侧。4.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述进声孔设于所述基板，所述进声孔与所述背腔连通，所述第一背板组件位于所述振膜靠近所述基底的一侧。5.一种电子烟，其包括一顶端具有吸烟口的外壳、收容于所述外壳内且与所述吸烟口间隔设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：李晋阳，张睿，
申请(专利权)人：瑞声声学科技深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：