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本发明公开一种晶圆载台与机械臂的平行度调节结构及调节方法。其中晶圆载台与机械臂的平行度调节结构包括基板，基板上设置有晶圆载台和横移驱动件，晶圆载台上放置有调平块，横移驱动件位于晶圆载台的一侧，且横移驱动件的活动端设置有转接板，转接板上设置有...
该专利属于无锡卓海科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡卓海科技股份有限公司授权不得商用。

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