下载一种双沟槽型MOS场效应晶体管的制备方法和应用的技术资料

文档序号:37459648

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属于半导体技术领域,公开了一种双沟槽型MOS场效应晶体管的制备方法和应用。制备方法:在半导体衬底层上形成半导体外延层;在半导体外延层上方形成阱区;在阱区上表面的中间区域形成N型重掺杂区,在阱区上表面、N型重掺杂区两侧的区域,形成P型重...
该专利属于深圳市至信微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市至信微电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。