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本发明公开了一种集成式混配系统,包括混料罐和吨桶,所述混料罐与吨桶均设置于称重机构上,所述吨桶设有至少一个,吨桶通过进料管与混料罐相连接,所述进料管上设有进料控制阀;混料罐上设有用于监测内部混料温度的温度传感器,混料罐上还设有冷却机构,冷却...该专利属于江阴江化微电子材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江阴江化微电子材料股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种集成式混配系统,包括混料罐和吨桶,所述混料罐与吨桶均设置于称重机构上,所述吨桶设有至少一个,吨桶通过进料管与混料罐相连接,所述进料管上设有进料控制阀;混料罐上设有用于监测内部混料温度的温度传感器,混料罐上还设有冷却机构,冷却...