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本实用新型涉及一种多点导电晶圆电镀工装,包括底板,还包括多个压块设置在底板的正面,与底板拆卸连接;多个贯穿槽开设在底板上,贯穿底板的正面和背面,便于将电极引到底板的正面;多个电极分别设置在对应的贯穿槽内,且其一端从底板的正面凸出,另外一端连...该专利属于西安智慧谷科技研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安智慧谷科技研究院有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及一种多点导电晶圆电镀工装,包括底板,还包括多个压块设置在底板的正面,与底板拆卸连接;多个贯穿槽开设在底板上,贯穿底板的正面和背面,便于将电极引到底板的正面;多个电极分别设置在对应的贯穿槽内,且其一端从底板的正面凸出,另外一端连...