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本发明公开了一种包括两步湿刻的双向TVS器件的制造方法，包括：通过第一无限源注入、第一扩散，在一N型衬底的两端处形成沿第一方向贯穿所述N型衬底的P+型区；进行第二无限源注入、第二扩散，在所述N型衬底内形成沿第二方向贯穿所述N型衬底的正向P型...
该专利属于江苏长晶科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏长晶科技股份有限公司授权不得商用。

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