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本申请实施例提供了一种循环管、循环管组件以及刻蚀设备。所述循环管具体包括：排气管、从里至外依次套接设置的内管、中层管以及外管；其中，内管的一端连接有进液孔，进液孔用于向内管内通入工作液体；内管上的顶部设置有第一出液孔，第一出液孔用于将内管内...
该专利属于西安隆基乐叶光伏科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安隆基乐叶光伏科技有限公司授权不得商用。

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