一种循环管、循环管组件以及刻蚀设备制造技术

本申请实施例提供了一种循环管、循环管组件以及刻蚀设备。所述循环管具体包括：排气管、从里至外依次套接设置的内管、中层管以及外管；其中，内管的一端连接有进液孔，进液孔用于向内管内通入工作液体；内管上的顶部设置有第一出液孔，第一出液孔用于将内管内的工作液体通入中层管内；所述中层管的底部设置有第二出液孔，所述第二出液孔用于将所述中层管内的所述工作液体通入所述外管内，所述排气管连接在所述中层管上远离所述进液孔的一端；所述外管的顶部设置有第三出液孔，所述第三出液孔用于将所述外管内的所述工作液体排出。本申请实施例所述的循环管既可以防止气泡溢出至所述主刻蚀槽内，又可以兼顾所述硅片的背面抛光效果。果。果。

【技术实现步骤摘要】
一种循环管、循环管组件以及刻蚀设备


[0001]本申请属于光伏
，具体涉及一种循环管、循环管组件以及刻蚀设备。

技术介绍

[0002]刻蚀设备是一种对硅片进行酸背抛刻蚀工艺的设备。酸背抛刻蚀工艺通常利用HNO3和HF的混合液体对硅片下表面的抛光和边缘进行腐蚀，去除边缘的N型硅，使得硅片的上下表面相互绝缘。通常的，刻蚀设备可以包括主刻蚀槽、副刻蚀槽以及连通主刻蚀槽和副刻蚀槽的循环管。其中，主刻蚀槽通常用于进行硅片的刻蚀，副刻蚀槽通常用于加入新补加的工作液体，而循环管则可以用于主刻蚀槽和副刻蚀槽之间的工作液体循环。
[0003]现有的技术中，循环管通常为双层循环管，双层循环管容易在内外管内聚集气泡，气泡溢出后容易在硅片边缘炸裂，导致硅片边缘出现过刻的缺陷。双层循环管为了防止气泡溢出，外管出液孔必须要朝下安装，新工作液体无法直接喷到硅片上，会导致硅片的背面抛光效果不佳。也即，现有的循环管在防止气泡溢出的同时很难兼顾硅片的背面抛光效果。

技术实现思路

[0004]本申请旨在提供一种循环管、循环管组件以及刻蚀设备，以解决现有的循环管在防止气泡溢出的同时很难兼顾硅片的背面抛光效果的问题。
[0005]为了解决上述技术问题，本申请是这样实现的：
[0006]第一方面，本申请公开了一种循环管，所述循环管包括：排气管、从里至外依次套接设置的内管、中层管以及外管；其中，
[0007]所述内管的一端连接有进液孔，所述进液孔用于向所述内管内通入工作液体；
[0008]所述内管上的顶部设置有第一出液孔，所述第一出液孔用于将所述内管内的所述工作液体通入所述中层管内；
[0009]所述中层管的底部设置有第二出液孔，所述第二出液孔用于将所述中层管内的所述工作液体通入所述外管内，所述排气管连接在所述中层管上远离所述进液孔的一端；
[0010]所述外管的顶部设置有第三出液孔，所述第三出液孔用于将所述外管内的所述工作液体排出。
[0011]可选地，所述第一出液孔、所述第二出液孔以及所述第三出液孔的数量皆为多个，多个所述第一出液孔、多个所述第二出液孔以及多个所述第三出液孔皆沿所述循环管的轴向依次间隔设置。
[0012]可选地，沿所述循环管的轴向，所述循环管包括背离设置的第一端和第二端，所述进液孔设置在所述第一端；
[0013]沿所述循环管的轴向，所述循环管包括依次连接的第一段和第二段，所述第一段靠近所述第一端设置，所述第二段靠近所述第二端设置；
[0014]在所述第一段，沿所述循环管的轴向，相邻的两个所述第一出液孔之间的间距、相邻的两个所述第二出液孔之间的间距、以及相邻的两个所述第三出液孔之间的间距相等；
[0015]在所述第二段，沿所述循环管的轴向，相邻的两个所述第一出液孔之间的间距、相邻的两个所述第二出液孔之间的间距、以及相邻的两个所述第三出液孔之间的间距相等。
[0016]可选地，在所述第一段，沿所述循环管的轴向，相邻的两个所述第一出液孔之间的间距为第一间距；
[0017]在所述第二段，沿所述循环管的轴向，相邻的两个所述第一出液孔之间的间距为第二间距；
[0018]其中，所述第一间距大于所述第二间距。
[0019]可选地，所述第一间距为40至50毫米，所述第二间距为15至25毫米。
[0020]可选地，沿所述循环管的轴向，所述循环管包括背离设置的第一端和第二端，所述进液孔设置在所述第一端；
[0021]沿所述第一端至所述第二端的方向，相邻的两个所述第一出液孔之间的间距、相邻的两个所述第二出液孔之间的间距以及相邻的两个所述第三出液孔之间的间距依次递减。
[0022]可选地，沿所述循环管的轴向，所述第一出液孔和所述第二出液孔成单排设置，所述第三出液孔成多排设置。
[0023]第二方面，本申请还公开了一种循环管组件，所述循环管组件包括：进液管以及至少两个上述任一项所述的循环管；其中，
[0024]所述进液管分别与每一个所述循环管的进液孔连通，以向所述循环管的内管通入工作液体。
[0025]可选地，至少两个所述循环管平行设置；
[0026]所述进液管的轴向与硅片的运行方向平行；
[0027]所述循环管的轴向相对所述进液管的轴向倾斜。
[0028]可选地，所述循环管的轴向与所述进液管的轴向之间的夹角为70度至80度。
[0029]第二方面，本申请还公开了一种刻蚀设备，所述刻蚀设备包括：主刻蚀槽、副刻蚀槽以及上述任一项所述的循环管组件；其中，
[0030]所述循环管组件分别连通所述主刻蚀槽和所述副刻蚀槽。
[0031]本申请实施例中，在所述进液孔向所述内管内通入工作液体后，由于所述内管的顶部设置有第一出液孔，所述工作液体中的气泡会跟随所述工作液体从所述第一出液孔溢出至所述中层管。由于所述中层管远离所述进液孔的连接有排气管，所述中层管的底部设置有第二出液孔，所述气泡可以从所述排气管排出至所述循环管外，避免气泡进入所述外管主刻蚀槽内，所述工作液体则可以从所述第二出液孔进入所述外管。由于所述外管的顶部设置有第三出液孔，所述工作液体可以从顶部的第三出液孔喷出至所述循环管顶部的硅片背面，对所述硅片的背面进行刻蚀抛光，以提升所述硅片的背面抛光效果。也即，本申请实施例所述的循环管既可以防止气泡溢出至所述主刻蚀槽内，又可以兼顾所述硅片的背面抛光效果。
[0032]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0033]本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0034]图1是本申请实施例所述的一种刻蚀设备的结构示意图；
[0035]图2是本申请实施例所述的一种循环管组件的结构示意图；
[0036]图3是本申请实施例所述的一种循环管的结构示意图；
[0037]图4是图3所示的循环管的剖面结构示意图；
[0038]附图标记：100－循环管组件，10－进液管，11－循环管，111－排气管，112－内管，1121－第一出液孔，113－中层管，1131－第二出液孔，114－外管，1141－第三出液孔，115－进液孔，200－主刻蚀槽，300－副刻蚀槽，400－管道，500－泵，20－硅片，A－第一段，B－第二段。
具体实施方式
[0039]下面将详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0040]本申请的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”的特征本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种循环管，其特征在于，所述循环管包括：排气管、从里至外依次套接设置的内管、中层管以及外管；其中，所述内管的一端连接有进液孔，所述进液孔用于向所述内管内通入工作液体；所述内管上的顶部设置有第一出液孔，所述第一出液孔用于将所述内管内的所述工作液体通入所述中层管内；所述中层管的底部设置有第二出液孔，所述第二出液孔用于将所述中层管内的所述工作液体通入所述外管内，所述排气管连接在所述中层管上远离所述进液孔的一端；所述外管的顶部设置有第三出液孔，所述第三出液孔用于将所述外管内的所述工作液体排出。2.根据权利要求1所述的循环管，其特征在于，所述第一出液孔、所述第二出液孔以及所述第三出液孔的数量皆为多个，多个所述第一出液孔、多个所述第二出液孔以及多个所述第三出液孔皆沿所述循环管的轴向依次间隔设置。3.根据权利要求2所述的循环管，其特征在于，沿所述循环管的轴向，所述循环管包括背离设置的第一端和第二端，所述进液孔设置在所述第一端；沿所述循环管的轴向，所述循环管包括依次连接的第一段和第二段，所述第一段靠近所述第一端设置，所述第二段靠近所述第二端设置；在所述第一段，沿所述循环管的轴向，相邻的两个所述第一出液孔之间的间距、相邻的两个所述第二出液孔之间的间距、以及相邻的两个所述第三出液孔之间的间距相等；在所述第二段，沿所述循环管的轴向，相邻的两个所述第一出液孔之间的间距、相邻的两个所述第二出液孔之间的间距、以及相邻的两个所述第三出液孔之间的间距相等。4.根据权利要求3所述的循环管，其特征在于，在所述第一段，...

【专利技术属性】
技术研发人员：李强，
申请(专利权)人：西安隆基乐叶光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：