温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

在通过将衬底（１１）容纳在处理腔（６）中而实现等离子处理的等离子处理装置中，由陶瓷制成的固定引导件（１２）和可移动引导件（１３）沿Ｙ方向（沿衬底运输方向）排列，以引导保持在陶瓷制成的安装板（１０）上的衬底的两个侧端部，并且可移动引导件（１３...
该专利属于松下电器产业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。