温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种用于衬底处理系统的流体控制系统包括：(M+N)个输入口，其被配置成分别与M个电磁线圈阀和N个备用电磁线圈阀流体连接，其中M和N为大于0的整数。M个输出部被配置成与M个气动阀流体连接。阀切换系统被配置成：选择性阻挡所述M个输入口中的1至N...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。