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洁净室空调系统技术方案
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文档序号:37447598
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本实用新型实施例提供了一种洁净室空调系统,属于空调技术领域,本洁净室空调系统包括水循环空调、第一新风空调及第二新风空调,三者均与洁净室连通。通过设置第一新风空调和第二新风空调配合水循环空调对洁净室进行送风,第一新风空调可以通过第一加热模组和...
该专利属于通威微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过通威微电子有限公司授权不得商用。
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