洁净室空调系统技术方案

本实用新型专利技术实施例提供了一种洁净室空调系统，属于空调技术领域，本洁净室空调系统包括水循环空调、第一新风空调及第二新风空调，三者均与洁净室连通。通过设置第一新风空调和第二新风空调配合水循环空调对洁净室进行送风，第一新风空调可以通过第一加热模组和第一冷却模组调节洁净室的温度，第二新风空调可以通过湿度调节模组调节洁净室的湿度，两个新风空调配合水循环空调，可以实现对洁净室送风温度和湿度的调节，以满足洁净室(尤其在夏季或者外部环境湿度较高时)的温度和湿度需求。者外部环境湿度较高时)的温度和湿度需求。者外部环境湿度较高时)的温度和湿度需求。

【技术实现步骤摘要】
洁净室空调系统


[0001]本技术涉及空调
，具体而言，涉及一种洁净室空调系统。

技术介绍

[0002]洁净室通常指对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数根据需要都进行控制的密闭性较好的空间。尤其用于碳化硅生产的洁净室，对空气调节的要求更高。
[0003]相关技术中，洁净室的空气调节由一台水循环空调控制，存在送风的温度和湿度不能调节的问题，尤其是夏季或者外部环境湿度较高时，水循环空调难以满足洁净室的温度和湿度需求。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种洁净室空调系统，其能够有效调节洁净室的送风温度和湿度，从而满足洁净室的温度和湿度需求。
[0005]本技术的实施例是这样实现的：
[0006]第一方面，本技术提供一种洁净室空调系统，用于调节洁净室的空气，包括：
[0007]水循环空调，所述水循环空调用于与所述洁净室连通；
[0008]第一新风空调，所述第一新风空调包括第一流道和设置于所述第一流道内的第一加热模组和第一冷却模组，所述第一流道的进风口用于与外部环境连通，所述第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种洁净室空调系统(10)，用于调节洁净室(400)的空气，其特征在于，包括：水循环空调，所述水循环空调用于与所述洁净室(400)连通；第一新风空调(100)，所述第一新风空调(100)包括第一流道(102)和设置于所述第一流道(102)内的第一加热模组(120)和第一冷却模组(130)，所述第一流道(102)的进风口用于与外部环境连通，所述第一流道(102)的出风口用于与所述洁净室(400)连通；第二新风空调(200)，所述第二新风空调(200)包括第二流道(202)和设置于所述第二流道(202)内的湿度调节模组(230)，所述第二流道(202)的进风口用于与外部环境连通，所述第二流道(202)的出风口用于与所述洁净室(400)连通。2.根据权利要求1所述的洁净室空调系统(10)，其特征在于，所述第一加热模组(120)包括第一加热盘管，所述第一加热盘管的一端与第一热水供水管(122)连通，另一端与第一热水回水管(124)连通。3.根据权利要求1所述的洁净室空调系统(10)，其特征在于，所述第一冷却模组(130)包括第一冷却盘管，所述第一冷却盘管的一端与第一冷水供水管(132)连通，另一端与第一冷水回水管(134)连通。4.根据权利要求1所述的洁净室空调系统(10)，其特征在于，所述第一新风空调(100)还包括第一过滤模组(110)、第一前均流板(140)、第一风机模组(150)及第一后均流板(160)，沿所述第一流道(102)内的气流方向，所述第一过滤模组(110)、所述第一加热模组(120)、所述第一冷却模组(130)、所述第一前均流板(140)、所述第一风机模组(150)及所述第一后均流板(160)依次排布。5.根据权利要求1
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4任一项所述的洁净室空调系统(10)，其特征在于，所述第二新风空调(200)还包括设置于所述第二流道(202)内的第二加热模...

【专利技术属性】
技术研发人员：卿成，张旭，张建，吕芳栋，卫元元，罗鸿，叶水全，张哲，简征程，徐江，李建，李书文，王奇缘，
申请(专利权)人：通威微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：