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本发明公开了一种基于贴膜机的多膜切换控制方法、系统及结构，其方法包括：将所需各种胶膜固定在贴膜区的送膜履带上；基于设置好的晶圆批号，对晶圆贴膜；使用中的胶膜，剩下的余料低于设定值，自动固定切断；需要换不同种类的膜时，送膜履带平行方向移动，更...
该专利属于浙江露语尔半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江露语尔半导体设备有限公司授权不得商用。

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