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本发明涉及半导体废气处理技术领域，尤其涉及一种半导体废气脱硝系统和脱硝方法，半导体废气脱硝系统包括水箱、反应塔、洗涤塔、臭氧发生器和变频轴流风扇，反应塔反应塔安装于水箱，并与水箱连通；反应塔上设置有进气口；洗涤塔的底部安装于水箱，并与水箱连...
该专利属于北京京仪自动化装备技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京仪自动化装备技术股份有限公司授权不得商用。

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