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本实用新型公开一种分子泵控制器，包括依次耦合的供电模块、滤波模块、制动电阻模块、直流采样模块、智能功率模块以及分子泵，其中，直流采样模块的输出端还接入DSP模块的采样端，DSP模块的第一控制端与制动电阻模块的受控端耦合，DSP模块的第二控制...
该专利属于中科院广州电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中科院广州电子技术有限公司授权不得商用。

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