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本实用新型提供了一种晶圆识别装置，包括：光源、透镜组、第一光电检测接收端以及第二光电检测接收端；所述光源的发射光沿发射光路照射在所述透镜组一侧，所述发射光通过所述透镜组色散后的色散光沿色散光路从透镜组的另一侧照射到晶圆上，所述色散光通过所述...
该专利属于淄博绿能芯创电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过淄博绿能芯创电子科技有限公司授权不得商用。

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