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本发明提供一种对位检测方法和对位检测装置。此对位检测方法包括对位芯片的芯片对准标记于透光基板的基板对准标记上；利用第一检测单元来穿透过芯片，而撷取芯片对准标记的位置；利用第二检测单元来穿透过透光基板，而撷取基板对准标记的位置；以及比对芯片对...该专利属于友达光电（苏州）有限公司;友达光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过友达光电（苏州）有限公司;友达光电股份有限公司授权不得商用。