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本发明提供了一种柔性拾取刚性定位的搬运装置、搬运方法及缺陷检测设备，属于精密输送及检测领域，搬运装置包括依次连接的搬运架座、机械臂主控座、X臂、Y臂、升降丝杆和柔性拾取头；通过机械臂主控座、X臂、Y臂、升降丝杆实现对柔性拾取头在XYZ三轴向...
该专利属于苏州天准科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州天准科技股份有限公司授权不得商用。

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