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本发明公开一种碳化硅水平外延炉用的气流转换装置，包括进气机构、初分散机构、孔板组件；所述进气机构的出气端开设有第一通气孔；所述初分散机构固定安装在所述进气机构的出气端；所述初分散机构内开设有若干与所述第一通气孔连通的导气孔组件；所述孔板组件...
该专利属于复旦大学所有，仅供学习研究参考，未经过复旦大学授权不得商用。

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