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本实用新型公开了一种适用于真空镀碳炉真空规保护装置，包括角阀、过滤器、全量程真空规、卡箍组件A、直通管以及卡箍组件B，所述角阀的一端通过卡箍组件A与全量程真空规连接，所述全量程真空规用于测量设备的真空数值，所述角阀的另一端通过卡箍组件B与直...
该专利属于磐石创新（江苏）电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过磐石创新（江苏）电子装备有限公司授权不得商用。

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