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本实用新型涉及真空镀膜机腔体技术领域，具体公开了真空镀膜机腔体冷却装置，包括用于真空镀膜的镀膜腔体、设置于镀膜腔体两侧的密封部件一和密封部件二以及设置在镀膜腔体内腔内侧的冷却部件；所述镀膜腔体的内侧设置有冷却腔，所述冷却腔的内侧填充有可供冷...
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