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本发明为一种喷洒装置及薄膜沉积设备，主要包括一第一输送管线、一第二输送管线、一扩散单元、一环形扩散单元。第一及第二输送管线连接扩散单元，分别将第一及第二前驱物输送至扩散单元的第一及第二进气管输送，使得第一及第二前驱物输送至扩散单元的下方。环...
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