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本公开提供一种射频微电子机械开关、射频装置,属于微电子机械系统技术领域,其可至少部分解决现有的射频微电子机械开关功能性能易受器件弯曲变形等场景影响的问题。本公开的频微电子机械开关包括:基底;设置在基底上的信号电极、第一地电极、第二地电极和连...该专利属于北京京东方技术开发有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京京东方技术开发有限公司授权不得商用。
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本公开提供一种射频微电子机械开关、射频装置,属于微电子机械系统技术领域,其可至少部分解决现有的射频微电子机械开关功能性能易受器件弯曲变形等场景影响的问题。本公开的频微电子机械开关包括:基底;设置在基底上的信号电极、第一地电极、第二地电极和连...