射频微电子机械开关、射频装置制造方法及图纸

本公开提供一种射频微电子机械开关、射频装置，属于微电子机械系统技术领域，其可至少部分解决现有的射频微电子机械开关功能性能易受器件弯曲变形等场景影响的问题。本公开的频微电子机械开关包括：基底；设置在基底上的信号电极、第一地电极、第二地电极和连接膜桥；所述连接膜桥横跨所述信号电极，且其两端分别与所述第一地电极和所述第二地电极连接；连接膜桥包括可拉伸结构，所述可拉伸结构的可拉伸方向与所述连接膜桥的延伸方向相同。方向与所述连接膜桥的延伸方向相同。方向与所述连接膜桥的延伸方向相同。方向与所述连接膜桥的延伸方向相同。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：史迎利，
申请(专利权)人：北京京东方技术开发有限公司，
类型：发明
国别省市：