下载具多组元件载台的载送装置的技术资料

文档序号:3742012

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本实用新型是一种具多组元件载台的载送装置,其设有可承载元件的第一、二、三载台,其第一、二载台的下方是分别设有可带动作水平纵向位移的第一、二水平纵移驱动源,第一、二水平纵移驱动源再各装设在可带动作水平横向位移的第一、二水平横移驱动源,另在第三...
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