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本申请公开一种等离子体监测装置和等离子体处理装置。该等离子体监测装置包括：流量控制部分，包括从等离子体发射的发射光通过其被引入或排出的第一端口以及从等离子体发射的发射光通过其被排出或引入并且具有与第一端口的形状不同的形状的第二端口；透明玻璃...
该专利属于三星显示有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星显示有限公司授权不得商用。

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