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本实用新型公开了一种大线宽尺寸线扫光刻光源模组，包括：LED光源，LED光源的左端设有均光镜组，第二垂直透镜，其设于均光镜组的左端，TIR透镜，其设于第二垂直透镜的左端，数字微反射镜，其设于TIR透镜的左端，本实用新型克服了现有技术的不足，...
该专利属于奇格半导体（重庆）有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过奇格半导体（重庆）有限责任公司授权不得商用。

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