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单晶生长设备制造技术
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文档序号:37409729
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一种用于生长氧化镓基半导体的单晶的单晶生长设备。该单晶生长设备包括:坩埚,其包括用于容纳籽晶的籽晶段和位于所述籽晶段上侧的生长晶体段,在所述生长晶体段中通过使容纳在其中的原料熔体结晶来生长所述单晶;管状承托器,其围绕所述籽晶段,并且还从下方...
该专利属于诺维晶科股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过诺维晶科股份有限公司授权不得商用。
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