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一种掩膜版曝光压合固定治具制造技术
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下载一种掩膜版曝光压合固定治具的技术资料
文档序号:37408924
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本实用新型提供了一种掩膜版曝光压合固定治具,包括:底座,具有承载面,所述承载面的四角设置有旋转下压件;平台,位于所述承载面上,用于放置基材和掩膜版,所述基材、掩膜版向远离平台的方向依次紧贴放置;当依次放置好基材和掩膜版后,所述旋转下压件旋转...
该专利属于廊坊晶正光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过廊坊晶正光电技术有限公司授权不得商用。
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