温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

提供了用于在压印(例如单面或双面)中管理多目标对准的系统和方法。一种示例系统，包括：辊，其用于移动模板卷；平台，其用于保持衬底；分配器，其用于在衬底上分配抗蚀剂；光源，其用于当模板卷的模板被压入衬底上的抗蚀剂中时，固化抗蚀剂以在衬底上形成印...
该专利属于奇跃公司所有，仅供学习研究参考，未经过奇跃公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。