下载III族元素氮化物半导体基板的技术资料

文档序号:37408748

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种III族元素氮化物半导体基板,其具备第一面和第二面,对于该III族元素氮化物半导体基板,通过肉眼观察容易区别第一面和第二面,利用光学传感器容易检测出端部,能够确保有效面积(可用于器件制作的面积)较大,整个基板的翘曲减少。本发明...
该专利属于日本碍子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本碍子株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。