下载一种用于真空镀膜的智能控制方法及系统的技术资料

文档序号:37407764

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本发明提供了一种用于真空镀膜的智能控制方法及系统,涉及智能控制技术领域,方法包括:提取历史镀膜记录所包括的具备时序特征的多次镀膜信息组中的目标镀膜信息组,并分析组建目标控制参数集,依次提取目标控制参数集中的第一、第二、第三参数,在通过智能控...
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