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本实用新型提供了一种晶圆平面度测量装置，包括：基台，其上设置有用于承载晶圆的载片台，所述载片台置于所述基台的隔振组件上；测量位移组件，其包括运动方向彼此正交的第一位移单元与第二位移单元，所述第一位移单元与第二位移单元的运动方向所在的直线平行...
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