下载半导体结构及半导体结构的形成方法的技术资料

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一种半导体结构及半导体结构的形成方法,结构包括:提供基底,所述基底包括相对的第一面和第二面;在基底内形成初始第一凹槽,所述初始第一凹槽自基底第一面向第二面延伸,所述初始第一凹槽在平行于基底表面的第一方向具有第一尺寸;在基底内形成第二凹槽和第...
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