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本发明公开了一种测厚校准方法、装置、设备和存储介质。该测厚校准方法包括：获取测厚仪对校准样片进行扫描得到的扫描数据，其中，所述扫描数据的数量为多个；获取所述校准样片的标准数据；基于所述扫描数据和所述标准数据确定扫描补偿量的标准差；确定所述标...
该专利属于杭州百子尖科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州百子尖科技股份有限公司授权不得商用。

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