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本发明揭示了一种芯片封装结构及其制作方法,包括:芯片,具有设置有焊盘的下表面和与下表面相背的上表面,芯片上表面相对焊盘位置处设置第一凹槽,第一凹槽暴露出焊盘上表面;第一绝缘层,设置于芯片上表面侧和第一凹槽的侧表面;第一金属层,设置于第一绝缘...该专利属于苏州晶方半导体科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州晶方半导体科技股份有限公司授权不得商用。
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本发明揭示了一种芯片封装结构及其制作方法,包括:芯片,具有设置有焊盘的下表面和与下表面相背的上表面,芯片上表面相对焊盘位置处设置第一凹槽,第一凹槽暴露出焊盘上表面;第一绝缘层,设置于芯片上表面侧和第一凹槽的侧表面;第一金属层,设置于第一绝缘...