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一种蚀刻衬底斜面边缘的方法。该方法包括在薄膜已经沉积在衬底的顶表面上之后，提供具有斜面边缘的衬底，并围绕其中心轴线旋转衬底。该方法还包括，在旋转过程中，通过将大气等离子体流引导到斜面边缘上来蚀刻斜面边缘。该大气等离子体流平行于衬底的顶表面，...
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