温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种用于声表面波滤波器的镀膜工艺，包括以下步骤，一、清洗步骤，将晶圆表面清洗；二、涂胶步骤，在清洗后的晶圆表面涂敷上光刻胶；三、曝光步骤，利用g线，i线，深紫外或远紫外线光透过光照掩模版照射到光刻胶上并发生化学反应；四、显影步骤，将曝光后的...
该专利属于浙江华远微电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江华远微电科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。