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本实用新型公开的承接晶圆机构，包括垂直贯穿贴膜平台的升降支柱，贴膜平台上设置吸附区，升降支柱位于吸附区中间位置。通过升降支柱的升起，用来接收晶圆，随着升降支柱的降落，晶圆被运输至贴膜平台上，贴膜平台对晶圆进行吸附固定，整个过程，晶圆被平稳的...
该专利属于河南通用智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河南通用智能装备有限公司授权不得商用。

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