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提供一种在显影工序中能够充分除去残留于金属配线间的涂膜的金属配线的制造方法及套件。在本发明的一个方式所提供的金属配线的制造方法中，显影工序包含利用第一显影液对干燥涂膜的金属配线以外的区域进行显影除去的第一显影处理，所述第一显影液包含溶剂和添...
该专利属于旭化成株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过旭化成株式会社授权不得商用。

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