下载一种辐射薄膜制备的方法、设备、辐射薄膜和光器件的技术资料

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本发明提供了一种辐射薄膜制备的方法、设备、辐射薄膜和光器件,方法包括:在基底的表面上制备聚酰亚胺薄膜;在基底的聚酰亚胺薄膜上制备具有图案的铬附着层;在铬附着层上制备铝黑薄膜以形成辐射薄膜。通过使用本发明的方案,能够制成具有低密度和宽波段红外...
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