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本申请涉及机械设备领域，涉及一种晶圆固定组件和晶圆制标设备。晶圆固定组件包括真空吸盘和第一晶圆压环，所述第一晶圆压环与所述本体可拆卸连接，所述第一晶圆压环位于所述真空吸盘的四周。即便晶圆翘曲严重，第一晶圆压环可以校正部分翘曲，使晶圆与真空吸...
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