温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种高效钝化膜沉积气体驱动装置，属于气体驱动装置技术领域，包括运输车、真空泵、压力计、阀门和过滤机构，所述运输车上设置有对接管，所述压力计和所述阀门皆安装在所述对接管上，所述真空泵连接所述对接管，且所述阀门位于所述真空泵和所...
该专利属于中润新能源（徐州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中润新能源（徐州）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。